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HMDS烘箱

HMDS鍍膜機(jī) HMDS預(yù)處理系統(tǒng) HMDS烤箱 HMDS預(yù)處理烘箱

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HMDS烘箱在第三代半導(dǎo)體材料中的工藝

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JSHMDS烘箱，太陽(yáng)能電池片HMDS烘箱

HMDS烘箱，太陽(yáng)能電池片HMDS烘箱適用行業(yè)：MEMS、太陽(yáng)能、電池片、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

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更新日期
2025-09-17

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六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設(shè)備工業(yè)烘箱

六甲基二硅氮烷(HMDS)表面處理設(shè)備的作用是勻膠前襯底“增附”處理。在光刻中，通常會(huì)用到一些例如藍(lán)寶石、氮化鎵、砷化鎵甚至是貴金屬薄膜等襯底，這類襯底與光刻膠的粘附性往往不怎么理想，這會(huì)導(dǎo)致后續(xù)的光刻顯影環(huán)節(jié)出現(xiàn)“裂紋”甚至是漂膠等問(wèn)題。因此必須通過(guò)工藝手段改善，這個(gè)步驟我們叫做增附處理或者叫做助黏。

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更新日期
2025-09-17

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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )-真空烘箱

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝，同一個(gè)容器中進(jìn)行，晶片在箱內(nèi)先經(jīng)過(guò)100℃-200℃的去水烘烤，再進(jìn)行HMDS處理，不需要從箱內(nèi)傳出，而接觸到空氣，晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低，所以有更好的處理效果。

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2025-09-17

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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）

智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

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智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機(jī)干泵

智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機(jī)干泵密封設(shè)計(jì)（電機(jī)和所有軸承與真空環(huán)路*隔開(kāi)）延長(zhǎng)了軸承的使用壽命，還可提供潔凈、無(wú)油的真空條件。可選的集成入口保護(hù)閥內(nèi)置于泵模塊中，可根據(jù)需要使用，不會(huì)額外增加泵的高度。

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