晶圓百級潔凈烤箱，可編程潔凈烘箱概述

晶圓百級潔凈烤箱，可編程潔凈烘箱一種采用單面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100的潔凈烘箱

特點

Ø  在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；

Ø  全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；

Ø  采用單面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

Ø  強制送風循環方式，雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到預定溫度控制精度。

配件

Ø  高性能程序控制器PF900 TOPPAGE

a)   一目了然、直觀的顯示 

b)   搭載了新的控制算法「RSS(升降溫?恒溫?穩定)」 

c)   程序程式輸出功能(多3點) 

d)   大容量 多1024段程序 

e)   雙模式信號輸出 

f)   對應各種狀況(程式終止狀態、等待判斷等) 

g)   綜合管理大量的設定值，存儲組功能 

h)   程序聯合運行功能(控制器間的通信) 

i)   前面板接口通信+程序設定工具 

Ø  耐高溫高效空氣過濾器(HEPA)

a)   特點：效率高、阻力低、容塵量大；

b)   外框材質：不銹鋼;

c)   材料：超細玻璃纖維濾紙;

d)   隔板：鋁箔;

e)   過濾效率：≥99.99%;

f)   顯示直觀，操作簡單