硅片潔凈烘箱，半導體百級潔凈烤箱概述

硅片潔凈烘箱，半導體百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

參數

主要技術指標

Ø  無塵等級：Class 100;     

Ø  溫度均勻度：±2℃;    

Ø  溫度波動度：±0.5℃（空載）；        

Ø  溫控精度：±0.1℃;

Ø  進風口：φ6mmN2進氣、流量計控制;

排風口： φ3”排風管（外接φ5＂法蘭）;

箱體結構

a)   烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱、過濾器及風道系統組裝而成

結構合理，外觀美觀大方；

b)   箱體材料：外箱采用優質冷軋板噴塑，可防止微塵；

c)   內膽材料：采用優質SUS304鏡面不銹鋼板，并經堿 性蘇打水清潔

去油污避免烘烤PARTICLE；

完善的安全保護措施

漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置（上限220℃）、 電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、 反向保護裝置、內襯防火材料、機臺異常蜂鳴器、門面安全開關。