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晶圓烤箱,超潔凈烤箱

晶圓烤箱,超潔凈烤箱

簡要描述:

晶圓烤箱,超潔凈烤箱工作室內充滿了惰性氣體N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱主要用于:晶圓、硅片、玻璃等制程烘烤,IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板等電子、IC、醫療衛生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門。

晶圓烤箱,超潔凈烤箱簡介:

   晶圓烤箱,超潔凈烤箱工作室內充滿了惰性氣體N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱主要用于:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板等電子、IC、醫療衛生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門。

技術參數:

內桶:采用SUS304#鏡面不銹鋼板,經堿性蘇打水清潔,避免烘烤時產生灰塵;
中桶:采用SUS304#鏡面不銹鋼板,經堿性蘇打水清潔,全氬弧焊焊接密封,避免烘烤時自身污染;
外部材料:采用SUS304拉絲不銹鋼板制造;
保溫材料:采用國產優質超細玻璃棉,100K級高密度高保溫材料制造,六面保溫;
潔凈度:100級、10級、1000級

氮氣進氣口:加裝流量計控制進氣量,入氣口:6mm;
排氣口:自動啟動風門,達到強烈循環效果而降溫的目的

電源:AC220V/380V 50Hz 
溫度均勻度:≤±2.0℃;

溫度范圍:RT+20~300℃,
氧含量:≤500ppm;

內尺寸:W710mm ×D 610mm ×H 560mm(可做上下兩箱);

傳感器:采用日制進口感溫芯片,不銹鋼外套,輸出被控制元件:SSR固態繼電器輸出;
溫度控制器:采用多段溫度控制器,數字設定,LED顯示,PID自動演算,SSR固態繼電器輸出;
溫度控制器顯示精度: 0.1;

保護裝置:

超溫防止警報裝置;
電熱、馬達過電流保護;
控制回路短路及過載保護;
漏電斷路器;
逆向防止器;
機臺異常風鳴器;

采用電磁門鎖,附斷電防開門裝置;
三色指示燈:黃色待機,綠色運轉,紅色超溫指示;
配合烘烤流程,控制氮氣及空氣之啟閉,避免氮氣浪費;

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