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雙腔無氧烤箱，兩箱無氧烘箱單腔內(nèi)尺寸：W450×D450×H450，上下層兩個腔體，可定制其他尺寸，多腔體

鈮酸鋰無氧化烘箱用于半導體晶片、半導體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于聚酰亞胺PI膠、CPI膠、BCB膠固化、低K電介質(zhì)固化，LCP材料熱處理、鍵合材料預處理，F(xiàn)OWLP扇出封裝，ITO膜/鋁/銅退火，PBO膠固化等特殊工藝。

PI固化高溫烘箱，聚酰亞胺厭氧烤箱用于半導體/三代半導體/新材料/新能源等行業(yè)。BCB、PI、CPI、PBO膠固化，LCP新材料、鋰電池等產(chǎn)品熱處理

PI亞胺化厭氧爐，PI真空厭氧烤箱用于光刻膠BCB，聚酰亞胺CPI固化，LCP纖維熱處理、晶圓干燥烘烤等工藝

PI真空固化烤箱，水冷卻PI固化爐用于光刻膠BCB，聚酰亞胺PI固化，晶圓干燥烘烤等工藝

恒溫熱板，精密熱板適用于半導體光刻工藝的前烘和堅膜、電路模塊的涂敷燒結和考核等工藝。

PI無氧烘箱工藝流程用于半導體/電子/新材料/新能源等行業(yè)。BCB、PI、PBO膠固化，LCP新材料、鋰電池等產(chǎn)品熱處理。